高頻壓力傳感器是一種薄膜元件,遭到壓力時(shí)變形。能夠應(yīng)用應(yīng)變儀(壓阻型感測)來丈量這種形變,也能夠經(jīng)過電容感測兩個(gè)面之間間隔的變化來加以丈量。這兩種辦法都很盛行。
汽車產(chǎn)業(yè)依然是高頻壓力傳感器的最大應(yīng)用范疇,占其銷售額的72%,其次是醫(yī)療電子占12%,工業(yè)范疇占10%,消費(fèi)電子與軍用航空占領(lǐng)其他的6%市場。
在汽車范疇,引擎管理是其主要應(yīng)用,包括汽油發(fā)起機(jī)中的歧管空氣壓力傳感器和柴油車中的共軌壓力傳感器,特別是在歐洲。為了改善熄滅狀況,有些組織也在研討能夠在汽缸內(nèi)工作的壓力傳感器,以更好地丈量參與化學(xué)反響的各種物質(zhì)的精確比例,并把數(shù)據(jù)反應(yīng)給引擎管理系統(tǒng)。
由于工作環(huán)境惡劣,汽車傳感器的價(jià)錢比消費(fèi)類傳感器高得多。另外,汽車傳感器需求較長的審定時(shí)間,而且這些傳感器必需能牢靠工作長達(dá)15年的時(shí)間。有些傳感器,比方剎車或輪胎壓力傳感器,關(guān)于汽車平安至關(guān)重要。
高頻壓力傳感器在汽車中的一個(gè)新應(yīng)用是傳動系統(tǒng)壓力感測,通常用于自動安裝之中,但也用于新型雙離合器傳動系統(tǒng)。德國廠商博世最近進(jìn)入該市場,推出了一款MEMS處理計(jì)劃,運(yùn)用油來維護(hù)硅薄膜,使其能夠最高耐受70巴的壓力。多孔硅的MEMS器件,也已用于目前的側(cè)面氣囊等應(yīng)用之中。
在醫(yī)療市場,壓力傳感器主要充任外科手術(shù)運(yùn)用的一次性低本錢導(dǎo)管。但它們也用于昂貴的設(shè)備之中,在連續(xù)氣道正壓通氣(CPAC)機(jī)中感測壓力與差流。這些器件潛力宏大,可能在2015年以后成為可植入傳感器??芍踩雮鞲衅鞑恍枨箅姵鼐湍芄ぷ?,能夠用于心臟丈量和監(jiān)測青光眼。
在工業(yè)范疇,高頻壓力傳感器的主要應(yīng)用包括采暖通風(fēng)及空調(diào)(HVAC)、程度面丈量、各種工業(yè)過程與控制應(yīng)用。例如,除了準(zhǔn)確的高度氣壓丈量,飛機(jī)運(yùn)用傳感器監(jiān)測引擎、襟翼等其它部件。
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